Tungku PECVD

1.Jenis: Sistem PECVD Zona Ganda tipe Slider 1200 derajat
2. Nomor fase: Fase tunggal
3. Tipe Termokopel: Tipe K
4.Model:TOB-DSP-1200 derajat -PECVD
5.MOQ:1set

Kirim permintaan

Obrolan Sekarang

perkenalan produk

Sistem PECVD Zona Ganda Tipe Slider 1200 derajat

Spesifikasi

Pola	TOB-DSP-1200 gelar -PECVD-I	TOB-DSP-1200 gelar -PECVD-II		TOB-DSP-1200 gelar -PECVD-III	TOB-DSP-1200 gelar -PECVD-IV
Kekuatan	3KW	3KW		4KW	4KW
Ukuran tabung tungku (mm)	Diameter 60(OD) X1800mm	Diameter 80(OD) X1800mm		Diameter 100(OD) X1800mm	Diameter 120(OD) X1800mm
Dimensi	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Tegangan catu daya	220V
Nomor fase	Fase tunggal
Modus kontrol	Kontrol suhu Yudian 30 bagian hanya dapat menggunakan pengaturan suhu PID. Kontrol suhu FP93 (dari Jepang) (Ganti instrumen impor, dengan biaya tambahan) 1,40 bagian program pengatur suhu dapat dibagi menjadi 4,2,1 program kelompok, jika program dibagi menjadi empat kelompok, masing-masing segmen program 10, 2,6 kelompok kontrol PID, suhu rendah, sedang dan tinggi masing-masing dapat dengan satu set PID, sehingga setiap segmen mampu mengendalikan suhu dengan sangat akurat.
Mode kontrol suhu	PID cerdas
Perlindungan dan tampilan kelelahan	Ya
Perlindungan suhu berlebih	Ya
Perlindungan arus berlebih	Ya
Akurasi kontrol	+/- 1 derajat
Pemicu	Pemicu pergeseran fasa
SCR	106/16E Jerman Simon Kang
Suhu maksimal zona suhu 1,2	1200 derajat
Zona suhu 1,2 Suhu terukur	1150 derajat
Tingkat pemanasan	Kurang dari atau sama dengan 30 derajat / Menit (Tersedia berdasarkan permintaan modifikasi)
Tingkat pemanasan yang disarankan	Kurang dari atau sama dengan 15 derajat / Min
Tipe Termokopel	tipe K
Panjang pemanasan zona suhu 1,2	205mm
Suhu permukaan sekitar	Kurang dari atau sama dengan 45 derajat
Kekuatan RF Plasma	Kisaran keluaran daya		0-500W
	Daya pantulan maksimum		10W
	Frekuensi sinyal		13,56MHZ ± 0,005%
	Kebisingan		<30 dB
	Pendinginan udara		metode pendinginan
	Daya Masukan		208-240V 50 / 60HZ
Parameter utama sistem pasokan GX	Kisaran standar		Pengontrol aliran proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (Anda dapat memilih skala apa pun)
	Ketepatan		± 1.5%
	Penurunan tekanan		<0.01MPa
	Pengulangan		± 0.2% F.S
	Maks Tekanan operasi		3MP
VS-0.1 sistem pembuangan	Sumber Daya listrik		220V / 380V 380W
	Kecepatan pemompaan		2L / S
	Pengukur vakum resistansi		ZDR-I
	Rentang pengukuran vakum		0.1-10 5 Pa
	Pompa vakum		VRD-8
	Pipa bergelombang		KF25X1000mm
	Sistem vakum		10 -1Pa